經濟日報
2022年09月04日 14:25:05
作者 張傑
2022年09月04日 14:25:05
作者 張傑
國內常壓、低壓(真空)電漿設備大廠 - 馗鼎奈米科技，以優越電漿開發能力及鍍膜技術基礎下，致力研發大氣各式電漿技術與應用, 包含:抗汙、抗菌、抗靜電鍍膜技術及連續式捲撓傳輸製程（roll to roll, R2R），更在GOG、PEDOT、EMI spray coating、OLED、micro LED、壓電薄膜極化 (piezoelectric film poling)、電漿廢氣處理等新製程開發，均有所斬獲。
公司指出，近幾年公司積極朝向軟性電子領域做開發，所開發出的連續式捲撓傳輸電漿設備(Roll to Roll Plasma)，成功打入國內最大的觸控面板客戶中，同樣是軟性材料的應用，其技術不僅領先同業外，Roll to Roll Desmear、R2R真空貼合也已接獲得電路板大廠的採用及認可。
此次主要針對兩項亮點設備,低壓反應性離子蝕刻設備（Reactive ion etching, RIE），搭配專利的電極設計、氣體流場均勻化的配置、基板載台的流體冷卻系統，達到具有高蝕刻速率、高均勻性與低製程溫度的特點，以及達到高深寬比與非等向性蝕刻等的製程需求，適合用於半導體、封裝與光電等相關領域，進行乾式蝕刻 (Etching) 或灰化 (Ashing) 等製程。
連續式的低壓電漿清潔設備(In-line Plasma Cleaning Equipment)，其特點為可全自動化生產，降低人工取放的動作，進而減少產品受到汙染的風險。搭配專利的水冷式電極與氣體流場設計，可提升產品的清潔效果與均勻性，因此廣泛應用於半導體、封裝與光電等相關領域進行清潔、活化、改質或粗糙化等製程，例如Chip, die, lead frame等的表面清潔與改質，或underfill, wire bonding, molding前的清潔處理等。
目前馗鼎具有共同技術研發能力，不論在觸控面板及軟、硬板製程上，皆具有長足開發能力，且佈局多年奈米材料，於各個產業包含面板、半導體產業不斷尋找出路及開發應用領域，馗鼎奈米將扮演好相當好的研發、製程開發支援者角色，期待可以跟國內的半導體產業、光電產業、固態照明產業共同成長。
該公司相信透由展覽，能為產業先進創造互相交流、共同探討的平台，掌握市場最新趨勢與訊息，開創更有利的競爭優勢與機會。
馗鼎奈米科技公司電話（06）232-3927，www.creating-nanotech.com
『SEMICON Taiwan 2022國際半導體展』，將於9月14日至16日於台北南港展覽館一館盛大登場，馗鼎奈米誠摯邀請各位蒞臨指導。
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