多功能型真空電性量測系統

產品名稱
多功能型真空電性量測系統


產品功能
．多探針真空量測：
可選配2至4組可微調探針座，電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載台直徑可至2英寸，腔體真空度可選擇一般真空度（5×10-3 Torr）以及高真空（1×10-6 Torr）。探針X-Y-Z三方向微調，行程：6.5 mm，定位精度：10 µm。並搭配CCD進行下針及微調。

．In situ電漿處理裝置：
特殊探針收回機構設計，多次量測之間可進行電漿處理程序，針對樣品進行表面電漿改質/清潔，不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產生影響。可選配RF/DC/MF generator。

．光感測：
腔體上方透明視窗採用石英玻璃，可搭配光學系統進行光感測元件之量測。

．特定氣體感測：
特定氣體可透過質流控制器（Mass flow controller, MFC）或浮子流量計進行流量控制。

．濕氣感測、有機蒸氣感測：
可選配特殊液態蒸氣導入裝置設計，可控制導入腔體之蒸氣流量，進而換算液態蒸氣之感測濃度。

．低溫量測（300K~20K）：
選配閉循環低溫製冷系統，可達20K之低溫環境，並透過PID系統進行連續式控溫。高溫選配需求可達500K、低溫選配需求可達10K、4K。


產品特色
提供真空量測系統相關進階功能之解決方案，整合常見之真空量測所需功能：真空量測、特定氣氛感測、濕度感測、有機蒸氣感測、光感測（需額外搭配光學系統如雷射、光譜儀等）、高低溫變溫量測、真空電漿處理。內部各項配件均可客製化設計。


應用產業
固態半導體電子元件、次微米/奈米元件之電性量測、微電子元件量測（photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.）、四點探針量測（4 points measurement）。

關鍵字：多功能型真空電性量測系統、真空電性、量測系統、真空量測


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