1.氣體解離率高，電漿容易維持：
電弧放電解離率極高，甚至可達100％，這是因為電子集中在電極弧根往外發射，此高動能電子與氣體分子碰撞解離，形成的氣體離子會在被電場吸引再撞回電極而產生更多的電子，如此生生不息的循環造成極大解離率。
2.氣體處理量大：
電弧放電操作範圍寬廣，可由真空到一大氣壓以上壓力範圍皆可操作，處理量則視操作範圍及電源功率而定。
3.設備簡單，維修容易：
只需要使用直流電源，電極裝置亦簡單，整個系統所需的設備成本低，維修容易。
B. 電弧放電的缺點：
1.電漿氣體溫度極高，易傷及被處理物，且能源損耗非常大：
電弧放電消耗許多能量在溫度的提高，局部的電極溫度需提高到電極放射出熱電子，甚至造成電極昇華，因而整個能源利用效率並不高。但對某一些製程，極高溫度（數千度C）的電漿氣體反而是優勢。
2.電極壽命短：
整個操作時間的限制會操縱在電極使用壽命上，一般電弧設備電極壽命在數小時，如採用Tubular Torch則可延長到數十到數百小時左右。
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