馗鼎奈米技術部落格｜電漿設備、DLC鍍膜與表面處理新知

常壓電漿在「液晶顯示器」業界之應用： (1) Array段：鍍膜前清除玻璃表面的有機物、去除乾蝕刻後的變性光阻、去除玻璃表面光阻剝離後的有機殘留物、分解氟化合物(PFCs) ，如圖十二所示。 (2) Cell段：PI塗佈前的基板清潔。 (3) Color Filter段：提昇色阻及over coat與基板間的附著力、ITO濺鍍前的基板清潔。 (4) Module段：提昇ACF與面板端子間的附著力，如圖十三及圖十四所示。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

常壓電漿在「汽車」業界之應用： (1) 增加車燈組裝時之附著力，如圖十七所示。 (2) 隔音橡膠條黏貼前之表面處理，如圖十八所示。 (3) 靜電噴塗前之表面處理。 常壓電漿在「汽車」業界之應用： (1) 增加車燈組裝時之附著力，如圖十七所示。 (2) 隔音橡膠條黏貼前之表面處理，如圖十八所示。 (3) 靜電噴塗前之表面處理。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

(1) LED導線架之清潔還原，如圖十九所示。 (2) 提升Wire bond金線之拉力測試值，如圖二十所示。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

常見的Plasma torch電極設計如下圖所示，通以高電流的DC或RF電源(數十伏特電壓，數百安培電流)，並經由側向通入氣體，在電極間產生高速氣流旋轉，將電漿穩定下來並推向出口，產生極高溫度的電漿炬，其火焰中心溫度可高達數萬K，利用此法可有效分解有害氣體廢棄物。但因為這是提高氣體溫度產生解離，類似於熱裂解方式，其雖然沒有後續的一些問題如反應器壽命等，而且設備更為簡單，但是消耗能源頗巨，不是一個符合經濟效應的方式。目前的應用包括了：材料加工與熔接、廢氣處理、污染物減量、有機物去除及電漿噴塗....等。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

以下影片為常壓電漿清洗設備SAP002清潔高爾夫球表面, **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

電暈放電之優點： 1.低溫製程 電暈放電並非提高氣體溫度，而是提供局部的高電場以加速電子，進行解離，所以消耗的能約幾乎全部拿來解離氣體，需要的能源小；符合經濟效益。 2.使用電源較普遍 電暈放電是以電極形狀造成局部高電壓，而且DC或AC電源皆可使用，一般採AC電源以避免電漿的不穩定情形發生，並避免電極溫度太高，而供給的電壓不必如DBD那麼高，對於操作人員較為安全。 3.設備簡單 基本的設備為針狀或線狀對平板狀電極，然後通以側向氣體。 電暈放電之缺點： 1.處理效果弱 由電暈放電性質知道，電漿分佈會集中在電場最大點的附近，不像低壓電漿是均勻分佈整個電極，而DBD雖然也會造成放電集中，但至少是整個電極均勻分佈微小放電。採線狀電極雖然有使處理量擴大，但其改善效果有限。 2.易造成電極破壞 由於電漿的集中，亦造成針狀或線狀電極需承受高溫，故多採耐火材料如鎢(W)，但鎢高溫易與碳結合而脆化(碳化)，在常壓下壽命不長；另一平面電極亦易於受局部集中電場而造成破壞(如放電加工原理)。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

電暈放電(corona discharge) 電暈放電係採用尖端放電方式，利用在尖端處形成集中電場，因而引發氣體的崩潰(Breakdown)效應產生解離反應，典型的電暈放電設備，基本上由一邊針狀電極及另一平板電極所構成，在兩電極間施加電壓則會在電極間距形成放電。 所以，尖端放電一般為針狀或線狀電極對平板或管狀電極放電，由於放電通常集中於尖端、細線及金屬板邊緣而活化區域較小，如圖九所示。由於會對待處理物產生不規則的電弧放電，易使待處理物產生缺隙在應用上造成了限制。不過所需要的電壓較低、反應器設計簡單而維修容易，也是常用的常壓電漿系統。目前的應用包括了：表面改質、靜電集塵器、靜電消除器、空氣清新機、廢氣污染處理及生醫材料殺菌。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************