馗鼎奈米技術部落格｜電漿設備、DLC鍍膜與表面處理新知

【低壓電漿設備】 產品名稱 低壓電漿清潔設備 DPC06 產品功能 各式基材在印刷或黏著前之表面活化、改質、接枝、粗糙化或清潔等 產品特色 ．桌上型設計，佔地面積小，不佔空間 ．設備適用於學校、實驗室、醫療院所與電子廠之研發單位 ．設備成本與研發成本低 ．設備操作容易，動作方式簡單易懂 ．專利設計之特殊電漿電極 ．高密度電漿源 ˇ處理速度快、清潔效率高、可靠度高 ˇ可控制低的離子能量、不損傷基板 ˇ結合化學反應性及物理撞擊性 ．處理均勻性佳 ．設備可移除氧化物與硫化物 ．可使用多種製程氣體 ．設備穩定高，容易維護 ．可依客戶需求作更改 應用產業 ．LCM、 IC 封裝 ( Flip Chip， CSP， BGA， Lead Frame， etc. )、LED 封裝、 SMT、 PCB、 FPC、光電元件、電子元件、封裝貼合前清潔 ．印刷或黏著前之表面粗化或清潔 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、低壓電漿、電漿清洗設備、電漿清潔機、電漿清洗機、活化、封裝貼合、馗鼎、plasma ************************************************************************************ 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWANTEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ************************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP009T 產品功能 在大氣的環境下，快速的清除有機污染物，達到元件表面潔淨及改質的功能有效提昇元件封裝、黏著、印刷之可靠度 產品特色 ．多項專利設計(節能省碳) ．低量電耗、低量氣耗 ．清潔效能優異 ．不需暖機，可隨時啟動及停止 ．可使用氣體﹕N2、CDA(Air)、O2 ．可清潔物品材質﹕玻璃、塑膠、金屬、陶瓷、橡膠等 應用產業 實驗室應用、光電元件、STN、TFT、OLED、LTPS、LED、SAM、Dipping、電子元件、太陽能產業、汽機車與自行車應用、食品加工、包裝、醫療、生物科技、複合材料、塑膠、紡織、家電、塗裝封裝、黏著等產業、Touch Panel 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、液晶面板清潔、大氣電漿、電漿清洗機、光電元件清潔、馗鼎、plasma ************************************************************************************ 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWANTEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ************************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP004L 產品功能 在大氣環境下 快速的清除有機污染物 達到元件表面清潔及改質之功能有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度 產品特色 ．耗電量低、耗氣量低 ．專利設計(節能省碳) ．可使用氣體：N2、CDA(Air)、O2 ．操做簡單 ．可清潔(處理)材質：玻璃、塑膠、金屬、陶瓷、橡膠等 應用產業 實驗室實驗、光電元件、STN、TFT、OLED、LTPS、LED、SAM、Dipping、電子元件、太陽能、汽機車、自行車、食品加工、包裝、醫療、生物科技、複合材料、塑膠、紡織、家電、塗裝、印刷、封裝、黏著等產業 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、液晶面板清潔、大氣電漿、電漿清洗機、光電元件清潔、馗鼎、plasma ************************************************************************************ 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWANTEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ************************************************************************************

工商時報報導 類鑽碳(石)鍍膜為馗鼎公司之核心技術之一，馗鼎自行開發電漿薄膜製程的能力，成功的以中間膜層的設計克服附著力不佳及應力大造成剝落的間題，並獲得多項專利。近年來，LED因散熱的需求，鋁、銅材質的基板大量的被採用，馗鼎利用類鑽碳(石)鍍膜的摩擦係數小，幫助排屑的特性，將之應用在微鑽頭及微銑刀上，延長刀工具使用壽命，節省製造成本。 類鑽碳(石)鍍膜應用在模具上除了保護模具外，還可協助散熱，改善模流性質、增加脫膜性、成型率及複製率，縮短製程時間、提昇產品良率、並減少拆模及清模的時間及次數。在切削金屬的領域上，許多具延展性的金屬或合金，在切削時容易沾粘刀具，高溫時更與刀具反應造成加工困難，工具壽命減短，這類刀工具在鍍上類鑽碳膜後可解決問題。 彩鑽薄膜為馗鼎新研發出來的膜層(見圖，業者提供)，其抗沾黏特性主要應用在鋁、銅及不鏽鋼加工上；在不鏽鋼加工上 (304 or 316)，於精銑時 (加工深度在15～30μ之間)有延長3倍以上的效果；在鋁、銅加工部分亦可延長2倍以上壽命。除類鑽碳膜外，馗鼎亦憑藉自有之電漿技術，研發出各種不同型式之設備及儀器以符合客戶生產之需求，如點狀式常壓電漿設備、寬幅式常壓電漿設備、低壓電漿清潔設備、電漿去膠渣機、電漿去光阻機、電漿蝕刻機、連續式（In line）電漿清潔系統、接觸角量測儀、微氧分析儀、流量控制器、電源供應器等。 欲了解該公司產品訊息，可於11月9-11日至馗鼎南港展覽館的TPCA展會場攤位「J206」參訪，馗鼎並訂於11月11日上午11點在該會場「Room A」舉行新產品發表會，詳情可參考馗鼎網站：www.creating-nanotech.com。 連結:http://ctee.com.tw/News/View.aspx?newsid=9138&cat=4 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWANTEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL:...

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2.軟性基材的表面處理 為了在壓印製程得到品質良好的圖案結構，壓印前對(來料)軟性基材進行清潔相當重要；由於材料在包裝、運送、保存時，多少因為環境的變異造成在基材上沾附或多或少之污染，只要一個分子層厚度的污染即可能造成後續光阻與基材的附著不良。但軟性塑膠基材容易在水洗過程吸附大量的水份，除了後續需要烘烤趕走水份外，更可能在烘烤時再次造成污染，或者因含水量變化，造成尺寸改變，增加後製程的困難度。因此若能以乾式方式對軟性基材清潔，將可省去許多麻煩，相對也可節省可觀的生產成本。 大氣電漿11因為不需要真空腔體，處理效果佳，速度快，因此是乾式清潔的首選， R2R製程最常見的電漿為電暈放電，電暈放電因為電極與被處理物直接面對，所以放電效果佳，但它絲狀放電特性，易造成較差之均勻性，甚至容易打傷材料；電暈放電的另一個缺點是不適合處理導電材料，當電暈放電遇到導電材料時，容易造成電漿集中放電而似閃電般將材料擊傷，如圖5所示。因此對於像是軟性顯示器或軟性電子，在軟性板材上已佈上線路或元件之場合，並不適合應用電暈電漿。適合用來處理軟性顯示器或軟性電子基材的大氣式電漿必需不對基材放電，不會像閃電般將基材擊傷。圖6為國內廠商自行開發適合用在R2R製程之兩款大氣式電漿，圖6(a)為陣列式噴射電漿(plasma jet array)，具有相當高之電漿密度，因此清潔效果佳，處理速度快，電漿有效距離較長(約3-10mm)，當所處理之基材寬度愈大時，需要合併更多之電漿單元，成本相對較高。圖6(b)遠距離DBD電漿，其特點為單位寬度成本較低，電漿均勻性較佳，適合大面積之材料清潔；但缺點為電漿有效距離較短(約1-5mm)，電漿密度較低，電漿清潔速度較慢。 圖7為PET基材經大氣電漿處理前後之水滴接觸角變化，處理前為76∘，處理後為40∘，顯示經大氣電漿處理後確實提升PET表面之親水性，及表面能。由XPS表面分析及AFM量測發現大氣電漿除了可以清除材料表面油污外，兼具表面改質與表面粗化的效果，如圖8及圖9所示。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Ch...

1.模板表面處理 由於模板需與光阻接觸，若要使模板與硬化光阻順利脫離，必需儘量控制模板的表面能。較常被用來當作抗沾粘(anti-sticking)表面處理的功能性薄膜有：含F自我排列單分子層薄膜3、類鑽石薄膜4-6、含F類鑽石薄膜5-7等。 1.1 自排列單分子層薄膜(self-assembled monolayer, SAM) SAM常被用來對表面進行疏水性(hydrophobic)及親水性(hydrophilic)表面改質, 只要奈米厚的薄膜鍵結於表面即可提供或減少基材的表面能。 常用的SAM如表2： 註：介面斷裂能(interfacial fracture energy)係用評估SAM與壓克力系紫外光硬化光阻於壓合硬化後斷裂所需之能量，此值以4點彎曲法(four point bending test)量得。 在實務上，基材必需經過嚴謹的清潔過程才能得到SAM與基材良的的附著，一範列為：基材先以去離子水清洗異丙醇清洗最後以氧電漿清潔，氧電漿處理的步驟很重要，因為電處理後會在基材表面導入OH官能基，而一般SAM與OH會形成很強的鍵結。SAM膜披覆則可以選擇化學氣相沉積8或浸鍍方式進行。表2所示APMDS之所有以較高的介面斷裂能，是因為APMDS具有壓克力官能基，可參與壓克力系光阻之自由基聚合反應(free radical polymerization)而與光阻產生共價鍵結，因此有非常好的粘著力；而GPTS因為具有-(-O-CH2-CH2-)未端官能基，亦可與壓克力系光阻中之N及O原子鍵結，因此也能有效提升界面之粘著力；然R2R壓印製程中要將SAM應用到提高基材與光阻之附著力，必需將SAM膜沉積在軟性基材上，以目前SAM的技術來看並不實用。烷基-氟系矽烷(Alkylhalosilanes)像FOTS, FDTS具有低的表面能，因此是最佳的抗沾粘表面處理候選者；但是相關文獻顯示當FDTS與光阻接觸時，會與紫外光光阻材料產生不可逆反應，如圖2所示為FDTS披覆於石英模板後，與經過10次紫外光壓印後C1s光譜，由光譜分析發現F原子在10次壓印後減少了28%，其原因可能為當紫外光照射時-CF3會吸引光阻(SU-8)中自由基所提供的電子，反應並形成揮發生氟化物而自FDTS逃離。這樣的現象在不同類型的紫外光光阻都有被報導，例如甲基丙烯酸酯、乙二烯醚、壓克力光阻。雖然FDTS...

以下影片為常壓電漿清洗設備SAP002清潔高爾夫球表面, **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

常壓大氣電漿電漿依照放電形式與結構的不同可以分為四大類： (1)利用金屬電極直接放電的低電流噴射式電漿(Plasma Jet)，(2)使用高電壓電源並在電極間加入絕緣板以穩定電漿的介電質放電(DBD)，(3)利用非均勻性電極結構產生的電暈放電 (Corona discharge)，(4)利用高電流電源產生的高溫電漿炬(Plasma torch)。以下將針對其設計結構、特性與相關應用做一說明。 1.噴射式電漿(plasma jet) 由一圓管狀金屬電極包圍另一金屬電極於管中央，兩電極一端接電源供應器、一端接地，利用尖端放電後，藉由高流速氣體流經圓管內將電弧噴出產生穩定電漿。其特色為電漿面積小、能量集中、處理效率高、產生的臭氧濃度較低、靜電累積較小。其應用效果是大氣電漿中最好者，但受限於處理面積狹小，通常可多支並聯成一寬幅式處理系統，如下圖二所示。目前的應用包括了：表面改質、光阻去除、電漿蝕刻、液晶面板晶片貼合、捲帶式載板製程清潔、手機組裝貼合、生醫材料殺菌及塗佈/印刷前處理。 2.介電質放電(DBD) DBD是採用介電質障壁放電方式進行大面積均勻放電，在兩電極(平板型或圓柱型)間加入至少一層之介電材料(石英或氧化鋁)，並因為介電質的存在而只能使用交流式電源供應器。兩電極板中至少有一個電極需以絕緣物質包覆，但大多是兩電極皆包以絕緣物，且通以高頻率、高電壓的電位。如此則可在二電極間看到週期性的絲狀放電。利用此絲狀（filamentary）的微放電（microdischarge)將流過的氣體活化分解之。這種放電方式結合了能常壓下操作的優點及低壓下輝光放電可大量活化、分解氣體的特性。有許多的研究者將其應用在產生臭氧、鍍膜及處理廢棄物上。但此方法的缺點為:絲狀的微放電之電流集中於一些小點，容易損壞電極板上做表面處理的材料，電漿反應的效率也低。文獻研究指出，DBD約有92%能源損耗在熱能的產生。 一般而言DBD為絲狀放電(filamentary discharge、silent discharge)，為不均勻的絲狀電漿，可大面積放電，但因形成絲狀放電，電漿密度低，電漿清除效率不高。由於在大氣環境中氣體碰撞頻率過高，電漿的產生與維持十分困難。因此需要特殊設計之高電壓/高頻電源供應器及特殊氣體。在一般常見的應用中，操作頻率介於1~40kHz，峰對峰電壓由數千伏到...

在一大氣壓下產生電漿是最經濟、最有效率的一種方式。一般電漿製程為使電漿穩定的產生，系統必須操作在低壓下。因此需要真空腔體和真空幫浦來維持低壓的環境，不但成本提高、單位時間處理量大減，而且設備維護費用也高。比如說，真空幫浦一般怕強酸、強鹼、也怕微粒，極易受損。因此若能在常壓下產生穩定的電漿就不再需要上述的真空設備，裝置簡化，操作及維修費用大大降低，此外其工件可不受真空腔體大小的限制，而且製程容易以連續式操作，可處理量也大幅提昇。 故常壓電漿相較於傳統的低壓電漿，大大拓展了電漿的應用領域，如下圖一所示。目前常壓電漿於產業界已有多項應用實例，詳見表一，其中噴射式電漿系統(Plasma Jet)介電質放電系統(DBD)因具有非熱電漿的特性且易整合於製作產線中而備受矚目。 此外，由於常壓電漿具有下述優點，可在室溫下將污染物質分解成無污染性之氣體，因此應用於氣相與液相環境污染物之分解上最具潛力。 1.去除效率高：較一般的焚化或觸媒反應法之反應性皆高，可使原先 2.易發生的反應快速進行。 3.設置成本低廉：主要設備為高頻率電源供應器，無須加熱系統，安裝容易。 4.節省能源：能源消耗少，利用效率高。電漿在低氣體溫度即可產生，而電漿化學反應在近於室溫下即可進行，無須加熱氣體即可使反應完全，因此可節省能量甚巨。電漿能量效率較傳統的化學反應效率高出甚多，是因為傳統或觸媒反應乃利用氣體加熱來提高氣體分子的動能，分子在經相互碰撞後才將一小部份的動能轉成位能來破壞分子的鍵結。如此，大部份外加的能量皆在提高氣體的溫度，而非用在鍵能的破壞。但電漿的能量是直接加在電子上，而高能電子的破壞鍵結效率非常高，電子的能量可以百分之百的轉成破壞分子的位能，而完全不需提高分子的動能。因此，電漿可以將能量直接用在分子的鍵結破壞，而不需浪費能量來提高氣體的溫度。尤其是氣體的熱傳效率相當差，電漿在氣體低溫時即可破壞鍵結的能力，可大大的節省能源。 5.操作成本低廉且可避免二次污染：不需要吸收劑或吸附劑等化學藥品，也毋需觸媒或燃料，可同時節省操作費用，和避免二次污染。 6.操作維修容易：電漿系統簡單，操作簡便，且反應器內並無設備需經常更換，因此，不需經常維修。 7.設備體積小：電漿反應器較吸收塔、吸附塔或焚化爐小，不佔空間，非常適合既有工廠空氣污染之改善。 8.可處理低濃度污染氣體：能夠處理濃度範圍為ppb至ppm之惡臭...

【低壓電漿設備】 產品名稱 電漿去膠渣機 PD06 功能 可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等 特色 ．高密度電漿源，電漿效率高，減少製程時間 ．專利設計之特殊電漿電極 ．特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統設計 ．處理之均勻性佳 ．電漿均勻性佳 ．可使用多種製程氣體 ．全自動且容易操作 ．設備穩定高，容易維護 ．可根據客戶需求設計專用特殊規格之機台 應用產業 ．PCB、FPC ．印刷或黏著前之表面粗化或清潔 關鍵字：電漿、電漿設備、低壓電漿、去膠渣機、電漿去膠渣、去膠渣、表面清潔、PCB清潔、FPC清潔、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

【低壓電漿設備】 產品名稱 低壓電漿清潔設備PC03/PC04 功能 各式基材在印刷或黏著前之表面活化、改質、接枝、粗糙化或清潔等 特色 ．處理均勻性佳 ．離子能量低、不損傷基板 ．沒有電極及基板的汙染 ．專利設計之特殊電漿電極 ．高密度電漿源 ˇ電漿效率高、清潔效率高 ˇ可控制低的離子能量 ˇ結合化學反應性及物理撞擊性 ．處理速度快、清潔效率高、可靠度高 ．操作範圍廣 ．全自動且容易操作 ．設備穩定高，容易維護 ．可依客戶需求作更改 應用產業 ．LCM、 IC 封裝 ( Flip Chip， CSP， BGA， Lead Frame， etc. )、LED 封裝、 SMT、 PCB、 FPC、光電元件、電子元件、封裝貼合前清潔 ．印刷或黏著前之表面粗化或清潔 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、低壓電漿、電漿清洗設備、電漿清潔機、印刷、電漿清洗機、活化、封裝貼合、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP004 功能 ．各式材料之表面清潔、活化或改質 ．提昇元件封裝、黏著或印刷之可靠度 ．增加黏著或附著性 ．操作簡單，可調整電漿功率、處理距離、清潔速度及氣體種類等 ．可清潔物品材質: 玻璃、塑膠、金屬、陶瓷、橡膠等 特色 ．多項專利設計 ．清潔效能優異、處理速度快 ．多種噴頭選擇，清潔範圍 3~30mm ．可使用氣體：N2、CDA(Air)、Ar、O2等氣體 ．不需暖機，可隨時啟動及停止 ．操作成本低 ．無污染 ．無靜電殘留 ．無arc ．體積小，容易安裝及維護 ．可依據客戶需求作修改 應用產業 ． STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB製程前的ITO電極表面清潔 ． COF (ILB) 或COB製程的電極表面清潔 ． LCD或OLED的玻璃清潔 ． IC封裝（Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.）或LED封裝的表面清潔或改質 ． PCB之表面清潔、活化、改質或去殘膠 ． 晶圓之表面清潔或去光阻 ． 工業電子元件之表面清潔、活化或改質 ． 印刷或黏著前之表面粗化或清潔 ． 鍍膜、去光阻及蝕刻 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、元件封裝、大氣電漿、電漿清洗機、表面清潔、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP002 功能 在大氣的環境下，快速的清除有機污染物 達到元件表面清潔及改善的功能，有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度 特色 ．專門為立體形狀物件作處理，電漿噴射深度 5cm，幅寬 5cm ．電漿效率高、處理速度快、清潔效能優異、操作成本低 ．內建氣體源，亦可使用 N2、Ar ．不須暖機，可隨時啟動停止 ．PLC 控制，RS232 外界溝通 ．提昇表面清潔度及粗糙度，增強貼合效果，改善各種膠、塗層的附著力 ．操作簡單不需特別訓練，可調整電漿功率、處理距離、清潔速度及氣體的種類等 ．可清潔物品材質: 玻璃、塑膠、陶瓷、橡膠等非金屬材質 應用產業 ．醫療業 : 注射器、導管、培養皿殺菌 ．電子業 : 手機按鍵及外殼清潔活化 ．封裝業 : 瓶罐及瓶蓋貼合、塗裝前處理 ．工業材料 : 圓管、圓柱、板材前處理 ．光學業 : 光纖、透鏡、光柵清潔 各式基材表面之清潔、粗化、改質 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、電漿清潔機、大氣電漿、電漿清洗機、清潔橡膠、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP006 功能 在大氣的環境下，快速的清除有機污染物 達到元件表面清潔及改善的功能，有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度 特色 ‧多項專利設計 ‧電漿效率高、處理速度快 ‧處理均勻性佳 ‧電極最小化設計，可處理下置產品 ‧操作簡單，可調整電漿功率、處理距離 ‧可整合於 in Line 產線 ‧處理金屬基板材質，不會造成元件損傷 應用產業 ．液晶面板產業 STN、TFT、OLED、LTPS ．觸控面板 ．光電元件、電子元件封裝貼合前清潔 ．LED 封裝、PCB 產業 ．太陽能產業 ．Touch Panel 製程 (1) Cover lens coating 製程前清潔 (2) Touch sensor PR 製程前清潔 (3) 貼合製程前清潔 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、電漿清潔機、大氣電漿、電漿清洗機、Touch Panel、去除汙染物、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP003 功能 ． 各式材料之表面清潔、活化或改質 ． 提昇元件封裝、黏著或印刷之可靠度 ． 操作簡單，可調整電漿功率、處理距離、清潔速度及氣體種類等 ． 可清潔物品材質: 玻璃、塑膠、金屬、陶瓷、橡膠等 ． 增加黏著或附著性 特色 ．多項專利設計 ．清潔效能優異、處理速度快 ．多種噴頭選擇，清潔範圍 3~30mm ．可使用氣體：N2、CDA(Air)、Ar、O2等氣體 ．不需暖機，可隨時啟動及停止 ．可in-line或off-line操作 ．無污染 ．操作成本低 ．無靜電殘留 ．無arc ．體積小，容易安裝及維護 ．可依據客戶需求作修改 應用產業 ． STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB製程前的ITO電極表面清潔 ． COF (ILB) 或COB製程的電極表面清潔 ． LCD或OLED的玻璃清潔 ． IC封裝（Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.）或LED封裝的表面清潔或改質 ． PCB之表面清潔、活化、改質或去殘膠 ． 晶圓之表面清潔或去光阻 ． 工業電子元件之表面清潔、活化或改質 ． 印刷或黏著前之表面粗化或清潔 ． 鍍膜、去光阻及蝕刻 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、電漿清潔機、大氣電漿、電漿清洗機、鍍膜、去光阻、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************