產品名稱
中頻電漿電源供應器MFPS005
產品功能
‧應用於真空電漿設備 (搭配匹配箱使用)
‧變頻控制
‧定功率控制 (依負載參數而定)
‧定電壓控制 (依負載參數而定)
‧ARC 保護裝置
‧ARC 次數偵測
產品特色
‧數位訊號控制器
‧輸出頻率可調整
‧功率操作範圍大
‧高密度電漿源
‧電漿效率高、清潔效率高、可靠度高
‧全自動且容易操作
‧設備穩定高，容易維護
‧可依客戶需求作更改
應用產業
LCM、IC封裝 ( Flip Chip，CSP，BGA，Lead Frame，etc. )、LED封裝、SMT、PCB、FPC、PECVD、Etch、光電元件、電子元件等相關印刷或黏著前之表面粗化、清潔等製程產業
關鍵字：中頻電漿電源供應器、電漿電源、電源供應器、真空電漿、LCM、IC封裝、電漿設備、馗鼎、plasma
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