【低壓電漿設備】電漿去光阻機PA01/ PA03B
【低壓電漿設備】 產品名稱 電漿去光阻機PA01/ PA03B 產品功能 快速去除晶圓上之殘留光阻，達到晶圓表面潔淨，蝕刻率同業最高 產品特色 ．處理均勻性佳 ‧離子能量低、不損傷基板 ‧沒有電極及基板的汙染 ‧專利設計之特殊電漿電極 ‧高密度電漿源 ˇ電漿效率高、清潔效率高 ˇ可控制低的離子能量 ˇ結合化學反應性及物理撞擊性 ‧處理速度快、清潔效率高、可靠度高 ‧操作範圍廣 ‧可使用多種製程氣體 ‧設備穩定高，容易維護 ‧可依客戶需求作更改 應用產業 ‧殘餘光阻去除 ‧藍膜殘膠去除 ‧PSS 來料清潔製程 關鍵字：電漿、晶圓清潔、電漿設備、低壓電漿、PSS來料清潔、晶圓、電漿去光阻、去光阻機、殘留光阻、藍膜殘膠、馗鼎、plasma ************************************************************************************ 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWANTEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ************************************************************************************