馗鼎奈米技術部落格｜電漿設備、DLC鍍膜與表面處理新知

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP003X 產品功能 在大氣的環境下，快速的清除有機污染物，達到元件表面潔淨及改質的功能有效提昇元件封裝、黏著、印刷之可靠度 產品特色 ．與連續生產線結合，可以連續操作 ．使用價格低廉的CDA或N2 應用產業 ． LCD 面板電極 ．軟性電路板電極 ． BGA 電路板電極 ． LED 電極 ． PCB ．各式上色或上膠前處理 ．印刷塗料前處理 ．覆膜紙盒上膠黏合前處理 ． Touch Panel 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、LED面板清潔、大氣電漿、電漿清洗機、Touch Panel、馗鼎、plasma ************************************************************************************ 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWANTEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ************************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP004L 產品功能 在大氣環境下 快速的清除有機污染物 達到元件表面清潔及改質之功能有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度 產品特色 ．耗電量低、耗氣量低 ．專利設計(節能省碳) ．可使用氣體：N2、CDA(Air)、O2 ．操做簡單 ．可清潔(處理)材質：玻璃、塑膠、金屬、陶瓷、橡膠等 應用產業 實驗室實驗、光電元件、STN、TFT、OLED、LTPS、LED、SAM、Dipping、電子元件、太陽能、汽機車、自行車、食品加工、包裝、醫療、生物科技、複合材料、塑膠、紡織、家電、塗裝、印刷、封裝、黏著等產業 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、液晶面板清潔、大氣電漿、電漿清洗機、光電元件清潔、馗鼎、plasma ************************************************************************************ 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWANTEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ************************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 抗污/抗指紋膜設備 AP PVD01C37 產品功能 抗指紋膜為表面具有自清潔功能(self-cleaning)、具雙疏效果(hydro/oleo phobic)的薄膜，應用於觸控面板抗指紋玻璃及金屬抗指紋，除了抗指紋應用外，還可應用於防銹、防污、耐酸鹼保護奈米塗膜 產品特色 ‧抗塗鴉、疏水、疏油、抗染 ‧密著性優異 ‧全氟系處理劑溶劑、環保、不傷身 ‧耐酸雨、防鏽蝕 ‧耐UV照射 ‧抗清潔劑清洗 ‧使用量少，高效能 應用產業 ‧觸控面板保護玻璃 ‧擋風玻璃 ‧電視保護片 ‧透明基板抗汙 ‧電子紙螢幕、PDA、衛星導航螢幕 ‧眼鏡抗汙處理 ‧滑鼠、抗汙USB鍍膜 ‧PCB防鏽 ‧減少摩擦耗損 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、AS coating、AF coating、抗污、抗指紋膜、抗指紋、鍍膜、抗指紋膜設備、plasma ************************************************************************************ 馗鼎奈米科技股份有限公司Creating Nano Technologies,Inc.59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWANTEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ************************************************************************************

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常壓電漿在「觸控面板」業界之應用： (1) 各種基材如ITO/Nb2O5/Bare glass，於鍍膜、網印、塗裝或黏著前的表面清潔與改質，如圖二十四所示。 (2) 提升觸控面板製程良率，增加SM層、銀膠之附著力。 (3) 觸控面板銀線氧化層之還原。 表1 常壓電漿之應用實例[9] 電漿型式 應用實例: 噴射式電漿 清潔(鋁箔、金屬焊接前)、塑料活化、蝕刻(SiO2、W、Ta)、去光阻、平面顯示器玻璃基板清潔、可撓式基板清潔、3C零組件清潔(電路板、電氣接點、燈管電極) 、電漿化學輔助沉積薄膜(類鑽膜、高分子、SiO2、TiO2)、消毒(炭疽熱、芥氣)、滅菌、光譜分析、含氟廢氣處理、黏貼標籤前處理、塑膠機殼塗裝前處理(手機、筆記型電腦)、汽車工業(防撞桿/行李箱塗裝、車燈組裝、防水塑膠封條黏貼前處理) 電漿型式 應用實例: 電質放電 清潔、塑料活化、臭氧製造、礦石靜電篩選分解、靜電集塵、塑膠薄膜印刷前處理、塑膠薄膜印刷前處理、有毒廢氣與揮發性溶劑分解、UV光源、包裝薄膜材料處理、鍍膜處理、黏貼標籤前處理(塑膠、玻璃、馬口鐵、紙製容器) 、鋁陽極氧化、Ni表面鍍奈米碳管、石英表面鍍碳膜、PVC血液導管內徑鍍抗沾黏薄膜CF2、滅菌、LCD、Touch Panel、LED 電漿型式 應用實例: 電暈放電 清潔、塑料活化、塑膠薄膜印刷前處理、塑膠瓶內部消毒、光學鏡片鍍膜前處理、臭氧製造、食品藥物表面殺菌、黏貼標籤前處理 電漿型式 應用實例: 電漿炬 陶瓷與金屬切割、燃燒、焊接(MIG、TIG)、礦物還原為金屬、金屬熔解純化、噴塗(Al、Zn、Al2O3、CoCrAlY、ZrO2-Y2O3)、有機揮發性溶劑分解(三氯乙烯、丙酮、氟碳化物、氟氯碳化物) 、焚化爐粉塵玻璃化、無機事業廢棄物熔解與減量(石棉)、超細粉末合成(金屬：銀、銅 ； 陶瓷：氮化物、碳化物) 、氧化鋁顆粒與石英玻璃纖維製造、低輻射物質分解、醫學廢棄物高溫分解、廢氣分解(NOx、SOx、CO、CO2)、鑽石鍍膜 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nan...

常壓電漿在「塑膠與紡織」業界之應用： (1) 塑膠鍍膜、塗裝或黏著前之表面粗化與改質，二十二、圖二十三所示。 (2) 提升塑膠、紙盒、玻璃及鍍鋅鐵皮...等容器之標籤黏著力。 (3) 增加纖維表面親水性而易於染整。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

常壓電漿在「印刷電路板」業界之應用： (1) 2L-FCCL、3L-FCCL，pi面於鍍銅前、壓合前、出貨前清潔， 如圖十五所示。 (2) 防焊綠漆製程前之清潔。 (3) 軟性印刷電路板之表面清潔、活化、改質或去殘膠，如圖十六 所示。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

以下影片為常壓電漿清洗設備SAP002清潔高爾夫球表面, **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

在一大氣壓下產生電漿是最經濟、最有效率的一種方式。一般電漿製程為使電漿穩定的產生，系統必須操作在低壓下。因此需要真空腔體和真空幫浦來維持低壓的環境，不但成本提高、單位時間處理量大減，而且設備維護費用也高。比如說，真空幫浦一般怕強酸、強鹼、也怕微粒，極易受損。因此若能在常壓下產生穩定的電漿就不再需要上述的真空設備，裝置簡化，操作及維修費用大大降低，此外其工件可不受真空腔體大小的限制，而且製程容易以連續式操作，可處理量也大幅提昇。 故常壓電漿相較於傳統的低壓電漿，大大拓展了電漿的應用領域，如下圖一所示。目前常壓電漿於產業界已有多項應用實例，詳見表一，其中噴射式電漿系統(Plasma Jet)介電質放電系統(DBD)因具有非熱電漿的特性且易整合於製作產線中而備受矚目。 此外，由於常壓電漿具有下述優點，可在室溫下將污染物質分解成無污染性之氣體，因此應用於氣相與液相環境污染物之分解上最具潛力。 1.去除效率高：較一般的焚化或觸媒反應法之反應性皆高，可使原先 2.易發生的反應快速進行。 3.設置成本低廉：主要設備為高頻率電源供應器，無須加熱系統，安裝容易。 4.節省能源：能源消耗少，利用效率高。電漿在低氣體溫度即可產生，而電漿化學反應在近於室溫下即可進行，無須加熱氣體即可使反應完全，因此可節省能量甚巨。電漿能量效率較傳統的化學反應效率高出甚多，是因為傳統或觸媒反應乃利用氣體加熱來提高氣體分子的動能，分子在經相互碰撞後才將一小部份的動能轉成位能來破壞分子的鍵結。如此，大部份外加的能量皆在提高氣體的溫度，而非用在鍵能的破壞。但電漿的能量是直接加在電子上，而高能電子的破壞鍵結效率非常高，電子的能量可以百分之百的轉成破壞分子的位能，而完全不需提高分子的動能。因此，電漿可以將能量直接用在分子的鍵結破壞，而不需浪費能量來提高氣體的溫度。尤其是氣體的熱傳效率相當差，電漿在氣體低溫時即可破壞鍵結的能力，可大大的節省能源。 5.操作成本低廉且可避免二次污染：不需要吸收劑或吸附劑等化學藥品，也毋需觸媒或燃料，可同時節省操作費用，和避免二次污染。 6.操作維修容易：電漿系統簡單，操作簡便，且反應器內並無設備需經常更換，因此，不需經常維修。 7.設備體積小：電漿反應器較吸收塔、吸附塔或焚化爐小，不佔空間，非常適合既有工廠空氣污染之改善。 8.可處理低濃度污染氣體：能夠處理濃度範圍為ppb至ppm之惡臭...

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP004 功能 ．各式材料之表面清潔、活化或改質 ．提昇元件封裝、黏著或印刷之可靠度 ．增加黏著或附著性 ．操作簡單，可調整電漿功率、處理距離、清潔速度及氣體種類等 ．可清潔物品材質: 玻璃、塑膠、金屬、陶瓷、橡膠等 特色 ．多項專利設計 ．清潔效能優異、處理速度快 ．多種噴頭選擇，清潔範圍 3~30mm ．可使用氣體：N2、CDA(Air)、Ar、O2等氣體 ．不需暖機，可隨時啟動及停止 ．操作成本低 ．無污染 ．無靜電殘留 ．無arc ．體積小，容易安裝及維護 ．可依據客戶需求作修改 應用產業 ． STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB製程前的ITO電極表面清潔 ． COF (ILB) 或COB製程的電極表面清潔 ． LCD或OLED的玻璃清潔 ． IC封裝（Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.）或LED封裝的表面清潔或改質 ． PCB之表面清潔、活化、改質或去殘膠 ． 晶圓之表面清潔或去光阻 ． 工業電子元件之表面清潔、活化或改質 ． 印刷或黏著前之表面粗化或清潔 ． 鍍膜、去光阻及蝕刻 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、元件封裝、大氣電漿、電漿清洗機、表面清潔、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP002 功能 在大氣的環境下，快速的清除有機污染物 達到元件表面清潔及改善的功能，有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度 特色 ．專門為立體形狀物件作處理，電漿噴射深度 5cm，幅寬 5cm ．電漿效率高、處理速度快、清潔效能優異、操作成本低 ．內建氣體源，亦可使用 N2、Ar ．不須暖機，可隨時啟動停止 ．PLC 控制，RS232 外界溝通 ．提昇表面清潔度及粗糙度，增強貼合效果，改善各種膠、塗層的附著力 ．操作簡單不需特別訓練，可調整電漿功率、處理距離、清潔速度及氣體的種類等 ．可清潔物品材質: 玻璃、塑膠、陶瓷、橡膠等非金屬材質 應用產業 ．醫療業 : 注射器、導管、培養皿殺菌 ．電子業 : 手機按鍵及外殼清潔活化 ．封裝業 : 瓶罐及瓶蓋貼合、塗裝前處理 ．工業材料 : 圓管、圓柱、板材前處理 ．光學業 : 光纖、透鏡、光柵清潔 各式基材表面之清潔、粗化、改質 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、電漿清潔機、大氣電漿、電漿清洗機、清潔橡膠、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP006 功能 在大氣的環境下，快速的清除有機污染物 達到元件表面清潔及改善的功能，有效提升元件封裝、黏著、印刷之可靠度 特色 ‧多項專利設計 ‧電漿效率高、處理速度快 ‧處理均勻性佳 ‧電極最小化設計，可處理下置產品 ‧操作簡單，可調整電漿功率、處理距離 ‧可整合於 in Line 產線 ‧處理金屬基板材質，不會造成元件損傷 應用產業 ．液晶面板產業 STN、TFT、OLED、LTPS ．觸控面板 ．光電元件、電子元件封裝貼合前清潔 ．LED 封裝、PCB 產業 ．太陽能產業 ．Touch Panel 製程 (1) Cover lens coating 製程前清潔 (2) Touch sensor PR 製程前清潔 (3) 貼合製程前清潔 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、電漿清潔機、大氣電漿、電漿清洗機、Touch Panel、去除汙染物、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

【常壓電漿設備】 產品名稱 常壓電漿清洗設備SAP003 功能 ． 各式材料之表面清潔、活化或改質 ． 提昇元件封裝、黏著或印刷之可靠度 ． 操作簡單，可調整電漿功率、處理距離、清潔速度及氣體種類等 ． 可清潔物品材質: 玻璃、塑膠、金屬、陶瓷、橡膠等 ． 增加黏著或附著性 特色 ．多項專利設計 ．清潔效能優異、處理速度快 ．多種噴頭選擇，清潔範圍 3~30mm ．可使用氣體：N2、CDA(Air)、Ar、O2等氣體 ．不需暖機，可隨時啟動及停止 ．可in-line或off-line操作 ．無污染 ．操作成本低 ．無靜電殘留 ．無arc ．體積小，容易安裝及維護 ．可依據客戶需求作修改 應用產業 ． STN-LCD、TFT-LCD、OLED或PDP之COG或OLB製程前的ITO電極表面清潔 ． COF (ILB) 或COB製程的電極表面清潔 ． LCD或OLED的玻璃清潔 ． IC封裝（Flip Chip, CSP, BGA, TCP, or Lead Frame, etc.）或LED封裝的表面清潔或改質 ． PCB之表面清潔、活化、改質或去殘膠 ． 晶圓之表面清潔或去光阻 ． 工業電子元件之表面清潔、活化或改質 ． 印刷或黏著前之表面粗化或清潔 ． 鍍膜、去光阻及蝕刻 關鍵字：電漿、電漿清洗、電漿設備、常壓電漿、電漿清洗設備、電漿清潔機、大氣電漿、電漿清洗機、鍍膜、去光阻、馗鼎 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************