電暈放電之優缺點

電暈放電之優點：
1.低溫製程
電暈放電並非提高氣體溫度，而是提供局部的高電場以加速電子，進行解離，所以消耗的能約幾乎全部拿來解離氣體，需要的能源小；符合經濟效益。
2.使用電源較普遍
電暈放電是以電極形狀造成局部高電壓，而且DC或AC電源皆可使用，一般採AC電源以避免電漿的不穩定情形發生，並避免電極溫度太高，而供給的電壓不必如DBD那麼高，對於操作人員較為安全。
3.設備簡單
基本的設備為針狀或線狀對平板狀電極，然後通以側向氣體。


電暈放電之缺點：
1.處理效果弱
由電暈放電性質知道，電漿分佈會集中在電場最大點的附近，不像低壓電漿是均勻分佈整個電極，而DBD雖然也會造成放電集中，但至少是整個電極均勻分佈微小放電。採線狀電極雖然有使處理量擴大，但其改善效果有限。
2.易造成電極破壞
由於電漿的集中，亦造成針狀或線狀電極需承受高溫，故多採耐火材料如鎢(W)，但鎢高溫易與碳結合而脆化(碳化)，在常壓下壽命不長；另一平面電極亦易於受局部集中電場而造成破壞(如放電加工原理)。


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電暈放電

電暈放電(corona discharge)

電暈放電係採用尖端放電方式，利用在尖端處形成集中電場，因而引發氣體的崩潰(Breakdown)效應產生解離反應，典型的電暈放電設備，基本上由一邊針狀電極及另一平板電極所構成，在兩電極間施加電壓則會在電極間距形成放電。

所以，尖端放電一般為針狀或線狀電極對平板或管狀電極放電，由於放電通常集中於尖端、細線及金屬板邊緣而活化區域較小，如圖九所示。由於會對待處理物產生不規則的電弧放電，易使待處理物產生缺隙在應用上造成了限制。不過所需要的電壓較低、反應器設計簡單而維修容易，也是常用的常壓電漿系統。目前的應用包括了：表面改質、靜電集塵器、靜電消除器、空氣清新機、廢氣污染處理及生醫材料殺菌。



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