馗鼎奈米科技股份有限公司之技術團隊在電漿領域的研發已有十餘年的歷史,在國內對於電漿技術的開發可說位於領導的地位,目前已是國內最大常壓電漿設備生產製造商,其產品穩定性及可靠度深獲國內面板大廠肯定,已獲國內面板大廠大量使用,可有效提升面板生產之良率及信賴度。
2009年10月28日 星期三
電暈放電
電暈放電(corona discharge)
電暈放電係採用尖端放電方式,利用在尖端處形成集中電場,因而引發氣體的崩潰(Breakdown)效應產生解離反應,典型的電暈放電設備,基本上由一邊針狀電極及另一平板電極所構成,在兩電極間施加電壓則會在電極間距形成放電。
所以,尖端放電一般為針狀或線狀電極對平板或管狀電極放電,由於放電通常集中於尖端、細線及金屬板邊緣而活化區域較小,如圖九所示。由於會對待處理物產生不規則的電弧放電,易使待處理物產生缺隙在應用上造成了限制。不過所需要的電壓較低、反應器設計簡單而維修容易,也是常用的常壓電漿系統。目前的應用包括了:表面改質、靜電集塵器、靜電消除器、空氣清新機、廢氣污染處理及生醫材料殺菌。
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