馗鼎奈米技術部落格｜電漿設備、DLC鍍膜與表面處理新知

常壓電漿在「觸控面板」業界之應用： (1) 各種基材如ITO/Nb2O5/Bare glass，於鍍膜、網印、塗裝或黏著前的表面清潔與改質，如圖二十四所示。 (2) 提升觸控面板製程良率，增加SM層、銀膠之附著力。 (3) 觸控面板銀線氧化層之還原。 表1 常壓電漿之應用實例[9] 電漿型式 應用實例: 噴射式電漿 清潔(鋁箔、金屬焊接前)、塑料活化、蝕刻(SiO2、W、Ta)、去光阻、平面顯示器玻璃基板清潔、可撓式基板清潔、3C零組件清潔(電路板、電氣接點、燈管電極) 、電漿化學輔助沉積薄膜(類鑽膜、高分子、SiO2、TiO2)、消毒(炭疽熱、芥氣)、滅菌、光譜分析、含氟廢氣處理、黏貼標籤前處理、塑膠機殼塗裝前處理(手機、筆記型電腦)、汽車工業(防撞桿/行李箱塗裝、車燈組裝、防水塑膠封條黏貼前處理) 電漿型式 應用實例: 電質放電 清潔、塑料活化、臭氧製造、礦石靜電篩選分解、靜電集塵、塑膠薄膜印刷前處理、塑膠薄膜印刷前處理、有毒廢氣與揮發性溶劑分解、UV光源、包裝薄膜材料處理、鍍膜處理、黏貼標籤前處理(塑膠、玻璃、馬口鐵、紙製容器) 、鋁陽極氧化、Ni表面鍍奈米碳管、石英表面鍍碳膜、PVC血液導管內徑鍍抗沾黏薄膜CF2、滅菌、LCD、Touch Panel、LED 電漿型式 應用實例: 電暈放電 清潔、塑料活化、塑膠薄膜印刷前處理、塑膠瓶內部消毒、光學鏡片鍍膜前處理、臭氧製造、食品藥物表面殺菌、黏貼標籤前處理 電漿型式 應用實例: 電漿炬 陶瓷與金屬切割、燃燒、焊接(MIG、TIG)、礦物還原為金屬、金屬熔解純化、噴塗(Al、Zn、Al2O3、CoCrAlY、ZrO2-Y2O3)、有機揮發性溶劑分解(三氯乙烯、丙酮、氟碳化物、氟氯碳化物) 、焚化爐粉塵玻璃化、無機事業廢棄物熔解與減量(石棉)、超細粉末合成(金屬：銀、銅 ； 陶瓷：氮化物、碳化物) 、氧化鋁顆粒與石英玻璃纖維製造、低輻射物質分解、醫學廢棄物高溫分解、廢氣分解(NOx、SOx、CO、CO2)、鑽石鍍膜 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nan...

常壓電漿在「塑膠與紡織」業界之應用： (1) 塑膠鍍膜、塗裝或黏著前之表面粗化與改質，二十二、圖二十三所示。 (2) 提升塑膠、紙盒、玻璃及鍍鋅鐵皮...等容器之標籤黏著力。 (3) 增加纖維表面親水性而易於染整。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

常壓電漿在「印刷電路板」業界之應用： (1) 2L-FCCL、3L-FCCL，pi面於鍍銅前、壓合前、出貨前清潔， 如圖十五所示。 (2) 防焊綠漆製程前之清潔。 (3) 軟性印刷電路板之表面清潔、活化、改質或去殘膠，如圖十六 所示。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

常壓電漿在「液晶顯示器」業界之應用： (1) Array段：鍍膜前清除玻璃表面的有機物、去除乾蝕刻後的變性光阻、去除玻璃表面光阻剝離後的有機殘留物、分解氟化合物(PFCs) ，如圖十二所示。 (2) Cell段：PI塗佈前的基板清潔。 (3) Color Filter段：提昇色阻及over coat與基板間的附著力、ITO濺鍍前的基板清潔。 (4) Module段：提昇ACF與面板端子間的附著力，如圖十三及圖十四所示。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

常壓電漿在「汽車」業界之應用： (1) 增加車燈組裝時之附著力，如圖十七所示。 (2) 隔音橡膠條黏貼前之表面處理，如圖十八所示。 (3) 靜電噴塗前之表面處理。 常壓電漿在「汽車」業界之應用： (1) 增加車燈組裝時之附著力，如圖十七所示。 (2) 隔音橡膠條黏貼前之表面處理，如圖十八所示。 (3) 靜電噴塗前之表面處理。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

(1) LED導線架之清潔還原，如圖十九所示。 (2) 提升Wire bond金線之拉力測試值，如圖二十所示。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************

常見的Plasma torch電極設計如下圖所示，通以高電流的DC或RF電源(數十伏特電壓，數百安培電流)，並經由側向通入氣體，在電極間產生高速氣流旋轉，將電漿穩定下來並推向出口，產生極高溫度的電漿炬，其火焰中心溫度可高達數萬K，利用此法可有效分解有害氣體廢棄物。但因為這是提高氣體溫度產生解離，類似於熱裂解方式，其雖然沒有後續的一些問題如反應器壽命等，而且設備更為簡單，但是消耗能源頗巨，不是一個符合經濟效應的方式。目前的應用包括了：材料加工與熔接、廢氣處理、污染物減量、有機物去除及電漿噴塗....等。 **************************************************************************** 馗鼎奈米科技股份有限公司 Creating Nano Technologies,Inc. 59 Alley 21 Lane 279, Chung Cheng Road, Yung Kang City, Tainan, TAIWAN TEL:886-6-2323927 FAX:886-6-2013306 URL: http://www.creating-nanotech.com ****************************************************************************